5 nm
Der 5-nm-Knoten kam pünktlicher als viele frühere Prognosen erwarten ließen: TSMC startete die Serienfertigung im zweiten Halbjahr 2020, erstmals mit durchgängigem EUV-Einsatz auf bis zu 14 Maskenebenen. Den Auftakt machten Apples A14 Bionic (iPhone 12) und der M1-Chip, mit dem Apple im November 2020 auf eigene ARM-basierte Prozessoren für Mac-Computer umstieg. Samsung brachte mit 5LPE im selben Jahr eine eigene 5-nm-Generation in Serie, unter anderem für Exynos- und Snapdragon-Chips.
Die im ursprünglichen Artikel erwartete Ablösung von FinFET durch Gate-All-Around-Transistoren blieb bei diesem Knoten noch aus – sowohl TSMC als auch Samsung fertigten ihre 5-nm-Generation weiterhin mit FinFET-Transistoren. Der GAA-Übergang fand erst zwei Knotengenerationen später statt (siehe 3-nm-Artikel). Auch die vielfach diskutierte These, der 5-nm-Knoten markiere das Ende des mooreschen Gesetzes, bestätigte sich nicht – die Skalierung setzte sich über 4 nm, 3 nm und 2 nm fort, wenn auch mit spürbar steigenden Entwicklungskosten je Generation.
Intel hatte zu diesem Zeitpunkt keinen eigenen Prozess unter dem Namen „5 nm“ im Programm – die eigene Fertigung folgte einer komplett eigenen, mehrfach verzögerten Zeitachse und wurde später ohnehin in „Intel 4“ beziehungsweise „Intel 3“ umbenannt.
Serienfertigung
Im September 2020 brachte Apple mit dem iPhone 12 den A14 Bionic als ersten Massenmarkt-Chip in TSMCs 5-nm-Fertigung.
Im November 2020 folgte Apples M1 – der erste ARM-basierte Prozessor in Apples eigenen Mac-Computern, ebenfalls in 5 nm gefertigt.
Samsung fertigte ab 2020 eigene 5-nm-Chips (5LPE), unter anderem für Exynos- und einzelne Snapdragon-Varianten.