Halbleitertechnologie von A bis Z

Alles über Halbleiter und die Waferfertigung

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10
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3
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1.5
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1
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800
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600
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5
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7 nm

Gemäß der International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) folgt die 7-nm-Technologie auf die 10-nm-Technologie. 2016 befindet sich der 7-nm-Prozess in der Entwicklung. Auch hier wird noch mit klassischer Immersionslithografie mit 193 nm belichtet, da die Haltbarkeit von EUV-Masken und der Durchsatz der EUV-Lithografie noch nicht für die Massenfertigung ausreicht.

Technologiedemos

Bereits 2002 demonstrierte IBM Transistoren in 6 nm.

2003 fertigte NEC Transistoren in 5 nm.

2012 fertigte IBM Transistoren auf Basis von Kohlenstoffnanoröhren (Carbon Nanotubes) die die Leistung von Silicium basierten Chips übertrafen.

Im Juli 2015 demonstrierte IBM den ersten voll funktionstüchtigen Transistor in 7 nm, basierend auf einem Silicium-Germanium-Prozess.