1. Allgemeiner Aufbau und Funktionsweise
Der grundlegende Aufbau und die Funktionsweise eines FinFET unterscheiden sich nicht von einem herkömmlichen MOS-Feldeffekttransistor. So gibt es auch hier einen Source- und Drainanschluss, über die der Stromfluss erfolgt. Die Steuerung des Transistors regelt eine Gateelektrode. Im Gegensatz zum klassischen, in Planarbauweise hergestellten Feldeffekttransistor wird der Kanal zwischen Source und Drain jedoch als dreidimensionale Struktur auf dem Siliciumsubstrat erzeugt, so dass die Gateelektrode diesen von mehreren Seiten umschließen kann. So wird ein wesentlich besseres elektrisches Verhalten ermöglicht: Leckströme können reduziert und Steuerströme besser kontrolliert werden.
Die dreidimensionale Struktur erzeugt jedoch auch neue parasitäre Kapazitäten und minimale Abmessungen (engl. critical dimension), die optimiert werden müssen. Die Gatelänge wird in einem FinFET parallel zum Kanal gemessen, während die Weite des Gates der doppelten Finnenhöhe plus der Finnenbreite entspricht. Die Höhe des Kanals limitiert den Steuerstrom und die Gatekapazität, die Breite beeinflusst die Durchbruchspannung und Kurzkanaleffekte und die daraus resultierenden Größen wie den Stromverbrauch.
Im Folgenden wird der Aufbau eines Multigate-Transistors mit drei Gates (Tri-Gate) im Bulk-Prozess beschrieben.