Das Periodensystem der Elemente (kurz PSE) stellt alle chemischen Elemente mit steigender Protonenanzahl (Kernladung, Ordnungszahl) und entsprechend ihrer chemischen Eigenschaften eingeteilt in Perioden sowie Haupt- und Nebengruppen dar.
Die Periode gibt dabei die Anzahl der Elektronenschalen an, die Hauptgruppe die Anzahl der Elektronen auf der äußersten Schale (1 bis 8 Elektronen). Gruppe 1 und 2 sowie 13-18 bilden die Hauptgruppen, die Gruppen 3-12 die Nebengruppen.
Das erste Element mit einer Schale (Periode 1) und einem Außenelektron (Gruppe 1) ist Wasserstoff H. Das nächste Element, Helium He, besitzt wie Wasserstoff nur eine Elektronenschale und befindet sich somit ebenfalls in Periode 1. Da die erste Schale mit zwei Elektronen bereits vollständig gefüllt ist, steht Helium Nicht in Gruppe 2, sondern in Gruppe 18 (Gruppe der Edelgase).
Um weitere Elektronen aufnehmen zu können, muss eine neue Schale begonnen werden. Somit findet man Lithium in Gruppe 1, Periode 2 (zwei Elektronen auf der ersten Schale, ein Valenzelektron auf der zweiten Schale). Eine Schale kann maximal 2n2 Elektronen aufnehmen, wobei n für die Periode steht.
Nachdem in Gruppe 1 und 2 die ersten beiden Valenzelektronen auf der äußersten Schale besetzt wurden, werden ab der vierten Periode zunächst weiter innenliegende Schalen mit Elektronen vervollständigt, bevor die jeweils äußerste Schale der Gruppen 13 bis 18 vollständig mit Elektronen aufgefüllt wird.
Das Periodensystem der Elemente
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Bedeutende Elemente in der Halbleitertechnologie
| Element |
Teilchen |
Hinweis |
| B: Bor |
5p, 6n, 5e |
3 Außenelektronen: Zur p-Dotierung von Silicium |
| N: Stickstoff |
7p, 7n, 7e |
Stabiles N2-Molekül: Schutz- und Spühlgas, Schutzschichten auf dem Wafer |
| O: Sauerstoff |
8p, 8n, 8e |
Sehr reaktionsfreudig: Oxidation von Silicium, Isolationsschichten (SiO2) u.a. |
| F: Fluor |
9p, 10n, 9e |
Reaktionsfreudigstes Element: Wird in Verbindung mit anderen Stoffen zum Ätzen verwendet (z.B. HF, CF4) |
| Si: Silicium |
14p, 14n, 14e |
Grundmaterial in der Halbleitertechnik |
| P: Phosphor |
15p, 16n, 15e |
5 Außenelektronen: Zur n-Dotierung von Silicium |
Elemente, die sich links im Periodensystem befinden, sind Metalle. Diese haben das Bestreben, Valenzelektronen abzugeben um so eine stabile Elektronenkonfiguration (die Edelgaskonfiguration) zu erreichen. Rechts im Periodensystem stehen die Nichtmetalle, die zum Erreichen der Edelgaskonfiguration zusätzliche Elektronen aufnehmen. Dazwischen befinden sich die Halbmetalle wie Silicium und Germanium.